De uitbreiding van de productie van siliciumcarbide stimuleert de snelle ontwikkeling van speciale apparatuur
Jul 28,2022
Siliciumcarbide -stroomapparaten versnellen de penetratie in automotive en andere applicatievelden, die een enorme marktruimte vertonen en verschillende fabrikanten aantrekken om de productie -uitbreiding te verhogen. Nadat de eerste 8-inch lijn van Wolfspeed in productie werd gebracht, zijn Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba onlangs ook de expansie en nieuwbouw van de productielijnen voor siliciumcarbide aangekondigd.
Vergeleken met traditionele productielijnen voor siliciumwafer, stelt het productieproces van siliciumcarbide verschillende eisen aan apparatuur.
Giuseppe Arena, directeur van het Automotive Power Device Project van STMicro-Electronics, zei dat het siliciumcarbide-productieproces vanwege de unieke fysische en chemische eigenschappen van brede-bandgap-materialen, vanwege de unieke fysieke en chemische eigenschappen van het productieproces van siliciumcarbide, heel anders is dan traditionele silicium-gebaseerde vermogensapparaten in epitaxiale groei, ionimplantatie, ionen, ionenimplantatie, en gloeien op hoge temperatuur. Modules zoals speciale kamers zijn ontworpen om defecten te regelen en de productiviteit te verbeteren. Speciale hulpmiddelen zijn ook vereist bij ets, dunner worden en andere links.
Naarmate het proces en de apparatuur volwassen worden, overwegen sommige IDM-bedrijven de verouderde 6-inch siliciumwaferproductielijn te transformeren in een productielijn van siliciumcarbide. Experts uit de industrie schatten dat het slechts 20 miljoen Amerikaanse dollar aan investeringen nodig heeft om het proces aan te passen en een kleine hoeveelheid speciale apparatuur te kopen. Dit soort productielijntransformatie kan worden voltooid.
Momenteel is de Division of Labour and Specialisation op dit gebied begonnen te verschijnen en bedrijven zoals X-Fab hebben al voet gezet in de Silicon Carbide Foundry Business.
CLAS-SIC, gevestigd in Schotland, VK, heeft een 6-inch Silicon Carbide Foundry Production Line. 10-15% van de productielijn is toegewijde siliciumcarbide-apparatuur en de meeste resterende apparatuur wordt gerenoveerd uit de productielijnen van Silicon Wafer. Het bedrijf is verantwoordelijk voor Rae Hyndman, de siliciumcarbide-industrie wordt ook geconfronteerd met bottlenecks bij de levering bij de aankoop van tweedehands apparatuur.
De Silicon Carbide -markt is veelbelovend en trekt ook fabrikanten van apparatuur aan om de investeringen op dit gebied te vergroten. David Haynes, een technisch expert bij Fanlin, zei dat de gemeenschappelijke uitdaging waarmee apparatuur is ontwikkeld voor siliciumwaferprocessen bij het verwerken van siliciumcarbide -substraten de laatste is. Bijna transparant in de zichtbare en nabij-infraroodgebieden, moet de detectiemodule worden geoptimaliseerd.
Een andere apparatuurgigant, aangebracht materiaal, heeft ook een aantal speciale siliciumcarbide -apparatuur gelanceerd. De CMP -apparatuur die is ontworpen voor de speciale fysische en chemische eigenschappen van siliciumcarbide zou volgens Sally Ann Henry, directeur van Business Development Director van Shengmei Company van Silicon Carbide Wafels aanzienlijk verminderen. Zei dat de huidige markt voor speciale apparatuur van Silicon Carbide nog steeds in het vroege stadium van ontwikkeling is en dat de meeste IDM's nog steeds 6-inch productielijnen exploiteren. (Bridge Tools) zal erg aantrekkelijk zijn. Dergelijke apparatuur kan eerst in de 6-inch productielijn worden geïntroduceerd. Omdat het is uitgerust met de meest geavanceerde detectiemodule, kan het zich snel aanpassen aan de toekomstige 8-inch productielijn na het vervangen van de armatuur, het laden en lossen van modules. Draad.
Vergeleken met traditionele productielijnen voor siliciumwafer, stelt het productieproces van siliciumcarbide verschillende eisen aan apparatuur.
Giuseppe Arena, directeur van het Automotive Power Device Project van STMicro-Electronics, zei dat het siliciumcarbide-productieproces vanwege de unieke fysische en chemische eigenschappen van brede-bandgap-materialen, vanwege de unieke fysieke en chemische eigenschappen van het productieproces van siliciumcarbide, heel anders is dan traditionele silicium-gebaseerde vermogensapparaten in epitaxiale groei, ionimplantatie, ionen, ionenimplantatie, en gloeien op hoge temperatuur. Modules zoals speciale kamers zijn ontworpen om defecten te regelen en de productiviteit te verbeteren. Speciale hulpmiddelen zijn ook vereist bij ets, dunner worden en andere links.
Naarmate het proces en de apparatuur volwassen worden, overwegen sommige IDM-bedrijven de verouderde 6-inch siliciumwaferproductielijn te transformeren in een productielijn van siliciumcarbide. Experts uit de industrie schatten dat het slechts 20 miljoen Amerikaanse dollar aan investeringen nodig heeft om het proces aan te passen en een kleine hoeveelheid speciale apparatuur te kopen. Dit soort productielijntransformatie kan worden voltooid.
Momenteel is de Division of Labour and Specialisation op dit gebied begonnen te verschijnen en bedrijven zoals X-Fab hebben al voet gezet in de Silicon Carbide Foundry Business.
CLAS-SIC, gevestigd in Schotland, VK, heeft een 6-inch Silicon Carbide Foundry Production Line. 10-15% van de productielijn is toegewijde siliciumcarbide-apparatuur en de meeste resterende apparatuur wordt gerenoveerd uit de productielijnen van Silicon Wafer. Het bedrijf is verantwoordelijk voor Rae Hyndman, de siliciumcarbide-industrie wordt ook geconfronteerd met bottlenecks bij de levering bij de aankoop van tweedehands apparatuur.
De Silicon Carbide -markt is veelbelovend en trekt ook fabrikanten van apparatuur aan om de investeringen op dit gebied te vergroten. David Haynes, een technisch expert bij Fanlin, zei dat de gemeenschappelijke uitdaging waarmee apparatuur is ontwikkeld voor siliciumwaferprocessen bij het verwerken van siliciumcarbide -substraten de laatste is. Bijna transparant in de zichtbare en nabij-infraroodgebieden, moet de detectiemodule worden geoptimaliseerd.
Een andere apparatuurgigant, aangebracht materiaal, heeft ook een aantal speciale siliciumcarbide -apparatuur gelanceerd. De CMP -apparatuur die is ontworpen voor de speciale fysische en chemische eigenschappen van siliciumcarbide zou volgens Sally Ann Henry, directeur van Business Development Director van Shengmei Company van Silicon Carbide Wafels aanzienlijk verminderen. Zei dat de huidige markt voor speciale apparatuur van Silicon Carbide nog steeds in het vroege stadium van ontwikkeling is en dat de meeste IDM's nog steeds 6-inch productielijnen exploiteren. (Bridge Tools) zal erg aantrekkelijk zijn. Dergelijke apparatuur kan eerst in de 6-inch productielijn worden geïntroduceerd. Omdat het is uitgerust met de meest geavanceerde detectiemodule, kan het zich snel aanpassen aan de toekomstige 8-inch productielijn na het vervangen van de armatuur, het laden en lossen van modules. Draad.